鈍化膜測(cè)厚儀在使用一段時(shí)間過后，或多或少都會(huì)出現(xiàn)系統(tǒng)誤差，而這個(gè)系統(tǒng)統(tǒng)誤差卻是可以通過校準(zhǔn)來減少。測(cè)量?jī)x器的校準(zhǔn)，對(duì)于測(cè)量結(jié)果有著絕大的影響力，為此，必須要通過專業(yè)的校準(zhǔn)工具進(jìn)行校準(zhǔn)。

　　鈍化膜測(cè)厚儀的校準(zhǔn)方法：

　　利用標(biāo)準(zhǔn)檢驗(yàn)片來對(duì)膜厚測(cè)量?jī)x進(jìn)行校正，先是把帶有一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)值的標(biāo)準(zhǔn)片放在零板上，測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)片。按照平常操作儀器的方法正常使用測(cè)厚儀，觀看儀器屏幕上的數(shù)值。一般來說，發(fā)現(xiàn)數(shù)值是與標(biāo)準(zhǔn)片上所標(biāo)數(shù)值一致，或者是誤差是在正負(fù)1微米的，儀器都是可以正常使用的。否則，就是不正常。對(duì)于不正常的儀器，則需要利用儀器的調(diào)零按鈕來進(jìn)行調(diào)整。直到屏幕數(shù)據(jù)與標(biāo)準(zhǔn)片所標(biāo)數(shù)據(jù)一致。

　　鈍化膜測(cè)厚儀在使用時(shí)，擺放在物件的上方，從儀器當(dāng)中發(fā)射了垂直向下的可視光線。其中一部分光會(huì)在膜的表面形成一個(gè)反射，另一部分則會(huì)透過儀器的薄膜，在薄膜與物件之間的界面開成反射，這個(gè)時(shí)候，薄膜的表面，以及薄膜的底部同時(shí)反射的光會(huì)造成干涉的現(xiàn)象。儀器便是利用了這樣的一種現(xiàn)象，從而測(cè)量出物件的厚度。厚度的測(cè)量看似簡(jiǎn)單，實(shí)測(cè)上所利用的光反射原理，卻是需要經(jīng)過一系列的設(shè)計(jì)才能達(dá)到如此理想狀態(tài)。如此光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x的使用，便也有著其它傳統(tǒng)測(cè)厚儀所沒有的優(yōu)點(diǎn)。